六フッ化硫黄 SF6 ガス半導体

六フッ化硫黄 SF6 ガスは、電力業界でネットワークを安全かつ確実に稼働し続けるために使用される無臭の合成ガスです。これは安定性が高く、非毒性、非引火性であり、電気陰性度が高いため、状態や有効性を変える他の化合物を形成しません。-

 

SF6 ガスは、半導体のドライエッチングで最も一般的に使用されるフッ化物ガスの 1 つです。高い選択比と強いエッチング速度が特徴です。酸化シリコン、フッ化シリコン、窒化シリコンなどの低誘電率材料のエッチングに適しています。

 

SF6 CAS NO.:2551-62-4

六フッ化硫黄の化学式はSFです。₆そのモル質量は146.00554 g molです^-1。六フッ化硫黄の構造は八面体で、中心の硫黄原子に 6 つのフッ素原子が結合しています。各 S-F 結合は 90°の角度を持っています。その化学構造は、有機分子の一般的な表現で次のように書くことができます。

 六フッ化硫黄 (SF6) プラズマは、シリコン (Si)、酸化シリコン (SiO2)、そして最近では石英ガラスのディープ エッチングに一般的に使用されています。

 六フッ化硫黄は無機化合物です。これは、常温常圧で無色、無臭、無毒、不燃性の安定したガスです。-これは、新世代の超高電圧絶縁誘電体材料です。-優れたガス絶縁体として、主に高電圧スイッチのアーク消弧に使用され、大容量の変圧器や高電圧ケーブルの絶縁材料としても使用されます。{6}{7}多くの場合、有害な PCB を含む可能性のある油フィールドサーキットブレーカー (OCB) を置き換えます。

 六フッ化硫黄は、最初の道路空気分散モデルの校正で使用されたトレーサー ガスであり、透析混合と空気海ガス交換を研究するための海洋学におけるトレーサーとして使用され、成功を収めてきました。{0}

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