オクタフルオロシクロブタン C4F8 5N 電子グレード

オクタフルオロシクロブタン（パーフルオロシクロブタン、C4F8、C-318とも呼ばれる）は、1950年代に米国のデュポン社によって開発された特殊なフッ素含有ガスです。常温では、オクタフルオロシクロブタンは無色、無臭、不燃性のガスです。

 

CAS番号	115-25-3
国連番号	1976
EINECS番号	204-075-2
分子量	200.03
外観	無色、無臭

近年、世界の半導体産業の規模は拡大し続けており、電子グレードのオクタフルオロシクロブタンの需要も増加し続けています。チップ製造プロセスの規模が縮小し続けるにつれて、オクタフルオロシクロブタンに対する純度要件はますます厳しくなっています。厳しい場合、チップ生産要件を満たすには、純度が5Nレベル以上に達する必要があります。

オクタフルオロシクロブタン C4F8 は半導体 PECVD (プラズマ強化化学気相成長) プロセスでよく使用され、CF4 または C2F6 の代替品として使用され、洗浄ガスや半導体プロセスエッチングガスとして使用されます。

オクタフルオロシクロブタン C4F8 は食品包装ガスとして使用されます。

食品添加物。包装中に食品をカプセル化するために使用される（通常は不活性な）ガスであり、これにより、オクタフルオロシクロブタン C4F8 ガスが、その後の輸送および保管中に食品の腐敗や酸化などの望ましくない化学反応から保護されます。

食品用推進剤:

エアゾール容器から食品を排出するために使用されるオクタフルオロシクロブタン C4F8。

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