オクタフルオロシクロブタン C4F8 5N 電子グレード

オクタフルオロシクロブタン (パーフルオロシクロブタン、C4F8、C-318 とも呼ばれる) は、1950 年代に米国のデュポン社によって開発された特殊なフッ素含有ガスです。-オクタフルオロシクロブタンは、常温では無色、無臭、不燃性の気体です。

 

CAS番号	115-25-3
国連ノー	1976
アイネックスNO	204-075-2
分子量	200.03
外観	無色、無臭

近年、世界の半導体産業の規模は拡大を続けており、電子グレードのオクタフルオロシクロブタンの需要も増加し続けています。{0}チップ製造プロセスの規模が縮小し続けるにつれて、オクタフルオロシクロブタンの純度要件はますます厳しくなっています。厳密に言えば、チップの製造要件を満たすには、純度が 5N レベル以上に達する必要があります。

オクタフルオロシクロブタン C4F8 は、半導体 PECVD (プラズマエンハンス。化学蒸着) プロセスでよく使用されます。C4F8 は、クリーニング ガスや半導体プロセスのエッチング ガスとして使用される CF4 または C2F6 の代替品として使用されます。

オクタフルオロシクロブタン C4F8 は食品包装ガスとして使用されます。

食品添加物。包装中に食品をカプセル化するために使用される (通常は不活性な) ガスで、オクタフルオロシクロブタン C4F8 ガスをその後の輸送および保管中に食品の腐敗や酸化などの望ましくない化学反応から保護します。

食品噴射剤:

オクタフルオロシクロブタン C4F8 は、エアゾール容器から食品を排出するために使用されます。

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