電子ガス
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オクタフルオロシクロブタン C4F8 5N 電子グレードもっと
オクタフルオロシクロブタン C4F8、ガス純度: 99.999%。半導体 PECVD (プラズマ強化。化学蒸着) プロセスでよく使用されます。C4F8 は、クリーニング
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