半導体洗浄溶剤 ハイドロフルオロエーテル HFE 347

ハイドロフルオロエーテルHFE347の基本情報
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ウェーハ洗浄における HFE 347 の主な利点 電話番号:+86-0592-5803997

HFE 347 をウェーハ洗浄プロセスに統合すると、次のような主要な利点が得られます。

優れた乾燥性能で「欠陥ゼロ」の結果を実現
極めて低い表面張力と高い揮発性により、HFE 347 は残留物を残さずに完全に蒸発し、パターンの崩壊やウォーターマークを根本的に排除します。-これは、RCA 洗浄後の水性乾燥では達成できない結果です。-

優れた材料適合性
ウェーハ、金属、セラミック、およびほとんどのポリマーに優しく、腐食や損傷を防ぎ、洗浄プロセスで新たな欠陥が発生しないようにします。

目標とする洗浄力
PFPE (パーフルオロポリエーテル) 真空ポンプ オイル、グリース、特定のフォトレジスト残留物、有機粒子に対する優れた溶解性により、これらの特定の汚染物質を除去するための溶剤として最適です。

高いプロセスの柔軟性
浸漬、スプレー、蒸気脱脂などのウェーハ洗浄方法に対応。特に精密部品やチャンバーコンポーネントをオフラインで洗浄するのに適しており、ウェーハへの汚染物質の移行を防ぎます。

環境と安全のコンプライアンス
ゼロ ODP (オゾン層破壊係数) と低い GWP (地球温暖化係数) を特徴としており、厳しい環境規制に適合しています。毒性が低く、不燃性であるため、作業の安全性が向上します。-

共沸混合物形成能力
アルコール（IPA など）と共沸混合物を形成できるため、「単一ステップ」の洗浄および乾燥プロセスが可能になります。最初に有機汚染物質を溶解し、次に純粋な HFE 347 に置き換えて完全に乾燥させ、ワークフローを大幅に合理化します。

水と廃水の使用量の削減
非水溶媒である HFE 347 は、-超純水への依存を減らし、高コストの廃水処理の負担を軽減します。-

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Xiamen Juda Chemical & Equipment Co., Ltd. は、高級電子材料分野における Juhua Group (中国のフッ素化学産業のベンチマーク企業) の重要な戦略的投資です。-

 

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